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晶圓甩干機(jī)

簡(jiǎn)要描述:v晶圓甩干機(jī)系高潔凈度的沖洗旋干設(shè)備

基礎(chǔ)信息

產(chǎn)品型號(hào)

廠商性質(zhì)

代理商

更新時(shí)間

2024-10-22

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詳細(xì)介紹

v 晶圓甩干機(jī)系高潔凈度的沖洗旋干設(shè)備。主要系應(yīng)用于硅晶圓、掩模板、太陽(yáng)能電池等材料的高潔凈度沖洗旋干。設(shè)備具有單工作室、雙工作室兩種結(jié)構(gòu)

v 產(chǎn)品類型:有立式單腔,雙腔晶圓甩干機(jī)(2-12),水平多工位甩干機(jī)(2-12)

v 單次甩干數(shù)量1-25

v 作業(yè)程序:沖洗、烘干的步驟順序、時(shí)間、 轉(zhuǎn)速等可分段編輯,(可設(shè) recipe 10 個(gè))


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