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噴涂膠機

簡要描述:v在噴涂法中,噴嘴將要涂抹的溶液噴在晶圓上

基礎信息

產(chǎn)品型號

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更新時間

2024-10-22

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詳細介紹

v 在噴涂法中,噴嘴將要涂抹的溶液噴在晶圓上。經(jīng)過優(yōu)化后的晶圓上方噴嘴移動路徑可以實現(xiàn)在襯底上均勻的涂層。噴涂所用的液體通常粘度極低,以確保形成細小的液滴

v 噴涂法即使在凹凸圖形上也能形成均勻涂層,因此它是這種結(jié)構(gòu)的方法。噴涂法還能噴涂方形的襯底

v 對起伏臺階幾微米到600微米以上的三維微結(jié)構(gòu)加工

v 基板尺寸直徑為200 mm,方形邊長為 6inch


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