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Canon FPA3000 EX4
1.Canon FPA3000 EX4步進式光刻機
光源波長248nm
分辨率優(yōu)于0.25µm
主要用于主要用于4寸、6寸、8寸生產線
廣泛應用于化合物半導體、MEMS、LED等領域
2.產品詳情
主要技術指標
分辨率0.25µm
N.A.0.4~0.6
曝光光源248nm
倍率5:1
曝光現(xiàn)場22mm*22 mm
對準精度60nm
3.更多服務
提供中英文軟件及4"、6"、8" 設備硅片改造
常年提供所有備件、耗材