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Canon FPA5000 ES4掃描式光刻機

簡要描述:CanonFPA5000ES41

基礎信息

產(chǎn)品型號

廠商性質(zhì)

代理商

更新時間

2024-10-22

瀏覽次數(shù)

116
詳細介紹

Canon FPA5000 ES4

1.Canon FPA5000 ES4掃描式光刻機

光源波長248nm

分辨率優(yōu)于0.13µm

用于6寸、8寸及12寸生產(chǎn)線

廣泛應用于化合物半導體、MEMS、LED等領域

2.產(chǎn)品詳情

主要技術指標

分辨率0.13µm

N.A.0.5-0.8

曝光光源248nm

倍率4:1

曝光現(xiàn)場26mm*33mm

對準精度25nm


3.更多服務

提供中英文軟件及6" 、8"、12"設備硅片改造

常年提供所有備件、耗材


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