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Nikon NSR 2205i14E
1.Nikon NSR 2205i14E步進式光刻機
光源波長365nm
分辨率優(yōu)于0.35µm
主要用于2寸、4寸、6寸及8寸生產線,
廣泛應用于化合物半導體、MEMS、LED等領域
2.產品詳情
主要技術指標
分辨率0.35µm
N.A.0.63
曝光光源365nm
倍率5:1
曝光現場22mm*22mm
對準精度
LSA:55nm
FIA:65nm
3.更多服務
提供中英文軟件及2"、4"、6"、8"設備硅片改造
常年提供所有備件、耗材