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激光退火設備

簡要描述：v應用范圍：對重摻雜碳化硅（SiC）表面沉積的過渡金屬進行退火

基礎信息

產(chǎn)品型號

廠商性質(zhì)

代理商

更新時間

2024-10-22

瀏覽次數(shù)

111
詳細介紹

v 應用范圍：對重摻雜碳化硅（SiC）表面沉積的過渡金屬進行退火，形成良好的歐姆接觸

v 加工尺寸：4inch、6inch

v 加工速度：1000mm/s

v 加工精度：±1μm

v 平臺參數(shù)：行程300mm×300mm

v 重復定位精度：±0.001mm

v 激光器參數(shù):紫外

v 稼動率:98%以上

v 重大故障間隙時間:＞1000H

v 良率:≥99.5%


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