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掃描電鏡等離子清洗機(jī)

簡(jiǎn)要描述：一、產(chǎn)品介紹CIF掃描電鏡（SEM）等離子清洗機(jī)采用遠(yuǎn)程等離子清洗源設(shè)計(jì)，清洗快速、高效、低轟擊損傷，主要用于SEM或FIB等電鏡腔體內(nèi)碳?xì)浠衔锏那逑?/h1>

基礎(chǔ)信息

產(chǎn)品型號(hào)

廠商性質(zhì)

代理商

更新時(shí)間

2024-10-22

瀏覽次數(shù)

200
詳細(xì)介紹

一、產(chǎn)品介紹

CIF 掃描電鏡（SEM）等離子清洗機(jī)采用遠(yuǎn)程等離子清洗源設(shè)計(jì)，清洗快速、高效、低轟擊損傷，主要用于SEM或FIB等電鏡腔體內(nèi)碳?xì)浠衔锏那逑础?/span>

二、產(chǎn)品特點(diǎn)

u 遠(yuǎn)程等離子清洗源

u 清洗快速、高效

u 低轟擊損傷

三、技術(shù)參數(shù)

產(chǎn)品型號(hào)

CIF-SEM

法蘭接口

KF40（CF40）

工作氣壓

0.3-3Pa

等離子電源

13.56MHz射頻電源，射頻功率5-150W可調(diào)，


遠(yuǎn)程等離子源，自動(dòng)匹配器

氣體控制

標(biāo)配單路質(zhì)量流量計(jì)（MFC）可選雙路。50毫升/分，自動(dòng)控制氣體流量，不會(huì)受環(huán)境溫度和壓力變化影響

氣源選擇

根據(jù)需求氧氣、氬氣、氮?dú)狻錃獾榷喾N清洗氣源選擇

真空控制

皮拉尼真空計(jì)，測(cè)量范圍1E-5Torr

真空保證

真空計(jì)和電磁閥安全互鎖

操控方式

7寸全彩觸摸屏控制，中英文互動(dòng)操作界面

電源/功率

220V，50/60Hz，300W

可選配件

可選氧氣、氮?dú)?、氫氣發(fā)生器， 氫氣純度﹥99.999％，輸出流量0-300ml/min

質(zhì)量保證

二年質(zhì)保，終身維護(hù)

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