產(chǎn)品型號(hào)
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產(chǎn)品分類
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v 應(yīng)用領(lǐng)域：無助焊劑焊接；倒裝芯片焊接；鍵合；Bump回流焊接；微電子封裝；功率器件焊接；晶圓熱處理；工藝研發(fā)；質(zhì)量控制
v 加熱區(qū)域：4、6、8、12英寸
v 腔體高度：40mm (選配80mm)
v 視窗直徑：60mm
v 工藝氣體控制：MFC控制，5nlm流量
v 真空：10-3 hPa (高真空選配)
v 工藝溫度：400攝氏度(500攝氏度或650度選配)
v 升溫速度：>100 K/Min
v 降溫速度：>100 K/Min
v 選配項(xiàng)目：FA甲酸模塊；MFC工藝氣路；EH腔體增高；H2氫氣模塊；TC多通過測(cè)溫；VAC真空模塊；MP隔膜泵，MPC化學(xué)防腐隔膜泵；RVP旋葉真空泵；WC冷水機(jī)
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