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v FE-SEM獲得的圖像分辨率高,信息豐富,樣品處理相對簡單,并且它可以觀察、測量并分析樣品的細微結(jié)構(gòu),因此被廣泛應(yīng)用于納米技術(shù)、半導(dǎo)體、電子器件、生命科學、材料等領(lǐng)域
v 電子槍種類:冷場發(fā)射
v 二次電子圖象分辨率:0.6 nm@15kV;0.7nm@1kV
v 放大倍數(shù):20-2,000,000x
v 加速電壓:0.5-30kV
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