產(chǎn)品型號
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產(chǎn)品分類
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Nikon S203B
1.Nikon S203B掃描式光刻機
光源波長248nm
分辨率優(yōu)于0.2µm
主要用于4寸、6寸及8寸生產(chǎn)線
廣泛應(yīng)用于化合物半導體、MEMS、LED等領(lǐng)域
2.產(chǎn)品詳情
主要技術(shù)指標
分辨率0.2µm
N.A.0.68
曝光光源248nm
倍率4:1
曝光現(xiàn)場25mm*33mm
對準精度
LSA:45nm
FIA:50nm
3.更多服務(wù)
提供中英文軟件及4"、6"、8"設(shè)備硅片改造
常年提供所有備件、耗材