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Nikon S204B
1.Nikon S204B掃描式光刻機
光源波長248nm
分辨率優(yōu)于0.18µm
主要用于4寸、6寸及8寸生產線
廣泛應用于化合物半導體、MEMS、LED等領域
2.產品詳情
主要技術指標
分辨率0.18µm
N.A.0.68
曝光光源248nm
倍率4:1
曝光現(xiàn)場25mm*33mm
對準精度
LSA:40nm
FIA:45nm
3.更多服務
提供中英文軟件及4"、6"、8"設備硅片改造
常年提供所有備件、耗材